目前煙氣在線監測測量原理方法多種多樣，下面就國內幾種比較常見的氣態污染物組分測量原理進行介紹。
1直接抽氣法+紅外吸收或紫外吸收測定通過采樣探頭和伴熱管線對抽取的煙氣進行加熱保溫，以保持煙氣不結露，輸至冷凝干燥裝置除濕后送到分析單元或者不冷凝直接送至分析單元，分析儀分析數據為干基值或者濕基值。該方法系統維護量較大、易堵易腐蝕易漏、響應時間較慢，不適用于粉塵濃度較大的場合，目前此測量方法在我國使用較為普遍。

2稀釋抽氣法+紫外熒光法測定

用稀釋氣體在采樣探頭內與煙氣按一定比例進行稀釋混合，稀釋后的煙氣進人分析系統測量。該方法系統維護量小，測量值為濕基值，該方法技術復雜、反應較慢、價格較高，運行較穩定，即使在粉塵濃度較高的場合也能夠適應，此測量方法在美國使用很普遍。

3紅外或紫外光直接測定

在煙道內部發射一束紅外光或紫外光直接照射煙氣，利用二氧化硫的特征吸收光譜進行測量。該方法簡單、無需伴熱管線、響應時間快、測量值為濕基值。該分析系統不能進行在線標定，易堵易污染，準確度較差，應用較少,可用于工況較好的場合。

除此之外,顆粒物目前的測定方法原理主要有濁度法、后向光散射法、射線吸收法、光閃爍法和電荷法。常用的流速測量方法主要有皮托管壓差法、熱平衡法、超聲波法、靶式流量計法。溫度的測量主要有熱電阻和熱電偶法。絕對濕度測量主要有電容法和干濕氧法，氧氣測量大部分采用氧化鋯傳感器和氧電池。由于煙氣在線監測系統中氧含量是個非常關鍵的參數，它會直接影響最終污染物的折算濃度，進而影響排放量的計算，因此氧含量的測量應具有自動在線標定功能。